医用镍钛合金表面多层薄膜的制备及摩擦磨损和耐腐蚀性能

来源期刊：功能材料2014年第14期

论文作者：邵红红 彭玉婷 姜秀英 刘雪丽 陈成 朱姿虹

文章页码：14145 - 14149

关键词：NiTi合金;阳极氧化;射频磁控溅射;摩擦磨损;耐蚀性;

摘    要：采用阳极氧化技术和射频磁控溅射技术在NiTi合金表面分别制备了TiO2薄膜以及Ti/TiN/TiO2多层薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、摩擦磨损试验仪及电化学工作站等仪器对薄膜的形貌、结构、摩擦磨损性能及耐腐蚀性能进行了研究。结果表明,NiTi合金经表面处理后,其摩擦磨损性能和耐腐蚀性能均得以不同程度的改善,其中阳极氧化和磁控溅射复合处理的NiTi合金的耐磨性和耐蚀性具有最佳的配合。