电沉积镍薄膜微观结构的动力学Monte Carlo模拟
来源期刊：材料导报2009年第14期
论文作者：潘勇 周益春 黄跃宇
关键词：动力学Monte Carlo模拟; 电沉积; 镍薄膜; 微观结构; kinetic Monte Carlo simulation; electrodeposition; nickel thin film; microstructure;
摘 要：采用动力学Monte Carlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长.研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响.模拟结果显示,溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数,它们能改变吸附原子的扩散能力,因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密度、表面粗糙度等微观结构产生显著影响.此外,还得到该模式下薄膜的生长因子,大约为0.46.
潘勇1，周益春1，黄跃宇1
(1.湘潭大学材料与光电物理学院,低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭,411105)
摘要:采用动力学Monte Carlo方法模拟动力学控制条件下电沉积多晶镍薄膜的生长.研究了表面扩散对电镀薄膜微观结构的影响.模拟结果显示,溶液温度和沉积速率是2个非常重要的参数,它们能改变吸附原子的扩散能力,因而对薄膜的晶粒尺寸、相对密度、表面粗糙度等微观结构产生显著影响.此外,还得到该模式下薄膜的生长因子,大约为0.46.
关键词:动力学Monte Carlo模拟; 电沉积; 镍薄膜; 微观结构; kinetic Monte Carlo simulation; electrodeposition; nickel thin film; microstructure;
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