薄/厚膜压电参数测量方法的研究进展

王青萍¹，曾亦可²，姜胜林²，熊龙宇²

(1.湖北第二师范学院物理与电子信息工程系,武汉,430205;
2.华中科技大学电子科学与技术系教育部敏感陶瓷工程研究中心,武汉,430074)

摘要:介绍了当前测量薄/厚压电参数的2大类方法:直接测量法(包括Berlincourt法、圆片弯曲技术、激光干涉法、扫描激光多普勒振动法、原子力显微镜法)和间接测量法(包括体声波响应和表面声波响应法、复合谐振法).详细分析了这些方法的基本原理、测试表征、应用状况和存在的问题,比较了这些方法的优缺点.结果表明,高分辨率的双束激光干涉和表面扫描振动相结合的方法将是评估压电参数方便、准确和可靠的方法,有望成为将来表征薄/厚膜压电特性的标准方法.

关键词:薄/厚膜; 压电参数; 测量方法; thin/thick film; piezoelectric coefficient; measurement methods;

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