砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期
论文作者：李成基 王万年 李韫言
关键词：GaAs; 扩散长度; 加速电压; 电子束感生电流;
摘 要：计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度.
李成基1，王万年1，李韫言1
(1.中国科学院半导体研究所,北京,100083)
摘要:计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度.
关键词:GaAs; 扩散长度; 加速电压; 电子束感生电流;
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