超低速运动下降装置系统设计
来源期刊:机械设计与制造2005年第3期
论文作者:洪灵 王耘
文章页码:1 - 3
关键词:超低速;下降装置;单晶硅;
摘 要:应用工程设计学基本原理,设计一种简易的超低速下降设备,应用于单晶硅拉伸。论文中提出了多种实现方案,通过分析比较获得一种制造成本低、制造简单、制造周期短的方案。
洪灵,王耘
摘 要:应用工程设计学基本原理,设计一种简易的超低速下降设备,应用于单晶硅拉伸。论文中提出了多种实现方案,通过分析比较获得一种制造成本低、制造简单、制造周期短的方案。
关键词:超低速;下降装置;单晶硅;