定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响

来源期刊：机械工程材料2011年第3期

论文作者：张慧星 谭毅 孙世海 许富民 姜大川

文章页码：52 - 114

关键词：定向凝固;多晶硅;分凝效应;电阻率;

摘    要：以1101工业硅为原料,采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭,通过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组织、电阻率及导电类型等进行了分析。结果表明:多晶硅锭中约50%的区域纯度达到99.99%,其中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在90%以上;分凝效应使得杂质元素重新分布,导致粗大柱状晶在铸锭54%高度处停止生长,此时其成分及电阻率发生突变,导电类型也由P型转变为N型。