异丙醇溶液中电化学法制备类金刚石薄膜的研究
来源期刊:材料导报2012年第12期
论文作者:何洋洋 张贵锋 侯晓多 曹保胜
文章页码:90 - 92
关键词:类金刚石薄膜;电化学沉积;拉曼光谱;傅里叶变换红外光谱;
摘 要:采用电化学方法,以分析纯的异丙醇溶液作为碳源,低温(60~70℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱仪(Raman)和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)表征了薄膜的表面形貌和结构。结果表明,电解异丙醇溶液可以获得表面均匀致密且sp3碳含量较高的含氢类金刚石薄膜。
何洋洋1,张贵锋2,侯晓多2,曹保胜1
1. 大连民族学院物理与材料工程学院2. 大连理工大学材料科学与工程学院
摘 要:采用电化学方法,以分析纯的异丙醇溶液作为碳源,低温(60~70℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱仪(Raman)和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)表征了薄膜的表面形貌和结构。结果表明,电解异丙醇溶液可以获得表面均匀致密且sp3碳含量较高的含氢类金刚石薄膜。
关键词:类金刚石薄膜;电化学沉积;拉曼光谱;傅里叶变换红外光谱;