溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展
来源期刊：材料科学与工艺2007年第2期
论文作者：刘长利 吴文健 满亚辉 张学骜
关键词：溶胶-凝胶法; ITO薄膜; 制备; 工艺; 应用;
摘 要：概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用.指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法,有着广阔的应用前景.
刘长利1，吴文健1，满亚辉1，张学骜1
(1.国防科技大学航天与材料工程学院,湖南,长沙,410073)
摘要:概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用.指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法,有着广阔的应用前景.
关键词:溶胶-凝胶法; ITO薄膜; 制备; 工艺; 应用;
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