MgxZn1-xO:Al靶材制备工艺和Mg掺杂对微观结构的影响研究
来源期刊：材料导报2009年第16期
论文作者：许积文 王华 杨玲 任明放 黄竹
关键词：MgxZn1-xO:Al靶材; 预烧; Mg含量; 烧结工艺; 微观结构;
摘 要：以纳米级的ZnO、MgO和Al2O3粉体为原料,经过湿式球磨得到了混合粉体,采用常压固相烧结的方法制备了高致密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响.研究表明,预烧粉体可以减少第二相的生成;随着Mg掺杂量的增加,MgO立方相逐渐增多,在x=0.3时产生了相分离;在1100～1300℃内,随着烧结温度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐渐增大,增大趋势在1300℃后变缓,1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的MgxZn1-xO:Al靶材.
许积文1，王华1，杨玲1，任明放1，黄竹1
(1.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004)
摘要:以纳米级的ZnO、MgO和Al2O3粉体为原料,经过湿式球磨得到了混合粉体,采用常压固相烧结的方法制备了高致密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响.研究表明,预烧粉体可以减少第二相的生成;随着Mg掺杂量的增加,MgO立方相逐渐增多,在x=0.3时产生了相分离;在1100～1300℃内,随着烧结温度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐渐增大,增大趋势在1300℃后变缓,1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的MgxZn1-xO:Al靶材.
关键词:MgxZn1-xO:Al靶材; 预烧; Mg含量; 烧结工艺; 微观结构;
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