化学气相沉积温度对钽涂层的显微组织及力学性能的影响

蔡宏中^1,2，易健宏²，李旭铭¹，魏燕¹，张诩翔¹，张贵学¹，胡昌义^1,2

1. 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室2. 昆明理工大学材料科学与工程学院

摘 要：为了探究沉积温度对化学气相沉积金属钽涂层组织及性能的影响,利用TaCl5-H2-HCl反应体系,以冷壁式化学气相沉积法（CVD）用不同沉积温度在钼基体表面沉积了钽涂层。研究了不同沉积温度下的化学气相沉积钽涂层的显微组织、力学性能及断口形貌等。结果表明:在1 000～1 300℃范围内,涂层晶粒尺寸随沉积温度的升高逐渐增大,涂层的抗拉强度和延伸率随温度的升高均逐渐降低,涂层的断裂方式由韧性断裂转变为脆性断裂。

关键词：化学气相沉积;钽涂层;沉积温度;显微组织;力学性能;