高密度碳酸稀土制备超细抛光粉的研究

来源期刊：稀土2015年第5期

论文作者：周新木 王爱勤 李静 阮桑桑 李永绣

文章页码：21 - 25

关键词：化学机械抛光;高密度碳酸稀土;高温爆裂法;超细抛光粉;

摘    要：以高浓度稀土料液为原料,高温下制备的稀土碳酸盐为高密度碱式碳酸稀土,然后以高密度碳酸稀土为原料,采用高温爆裂法制备超细稀土抛光粉。通过SEM、粒度测定、抛光测定对样品进行表征。研究了不同的煅烧模式、爆裂温度、老化时间和老化温度对稀土氧化物形貌、粒度和性能的影响。结果表明:高密度碱式碳酸稀土在900℃~950℃高温爆裂、900℃~1000℃老化3 h~4 h,得到粒径D50为290 nm左右,分散性、抛光效果较好的超细稀土抛光粉,并可实现超细稀土抛光粉工业化生产。