圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理
来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)2000年第2期
论文作者：孙东明
文章页码：54 - 57
关键词：磁控溅射;靶;真空镀膜;
摘 要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法 .并对如何发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析
孙东明
昆明理工大学机电工程学院!云南昆明650093
摘 要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法 .并对如何发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析
关键词：磁控溅射;靶;真空镀膜;
