Sol-Gel法制备低阻SnO2薄膜
来源期刊：功能材料2001年第6期
论文作者：陈丽华 全宝富 刘凤敏 李爱武
关键词：sol-gel法; SnO2薄膜; 气敏特性;
摘 要：采用sol-gel法制备了SnO2薄膜.研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响.利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸.利用这种低阻SnO2薄膜制作的热线型气敏元件对H2S具有较好的气敏特性.
陈丽华1，全宝富1，刘凤敏1，李爱武1
(1.吉林大学电子工程系,)
摘要:采用sol-gel法制备了SnO2薄膜.研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响.利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸.利用这种低阻SnO2薄膜制作的热线型气敏元件对H2S具有较好的气敏特性.
关键词:sol-gel法; SnO2薄膜; 气敏特性;
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