真空电镀制备非连续合金薄膜及其在电磁屏蔽中的应用

沈中良^1,2，杨辉^2,3，吴刚³，姚费杰²，杨立功^2,3

2. 浙江大学浙江加州国际纳米技术研究院3. 浙江大学硅材料国家重点实验室

摘 要：采用真空电镀工艺在塑料基底上制备了非连续合金薄膜。系统研究了沉积条件的改变对薄膜的表面形貌、微观聚集态特征、薄膜导电性能的影响,并对相应薄膜体系用于电磁屏蔽的效能进行了对比研究。发现在高能离子的参与下,沉积到塑料基底上有机涂层表面的金属原子(团)会渗入涂层内部与有机介质混合,形成非连续金属相,相应的薄膜表面也出现不同的微结构。实验表明,金属层总厚度不超过500nm时其平均电磁屏蔽性能可到50dB。该复合材料以及制备方法可应用于多种有电磁屏蔽需求的产品。

关键词：非连续合金薄膜;电磁屏蔽;电导率;