Si(100)在碱性氟化物溶液中的腐蚀行为

来源期刊：材料科学与工程学报2012年第6期

论文作者：储清梅 刘翔 张鹏翔 戴永年

文章页码：940 - 942

关键词：单晶硅;腐蚀;碱性氟化物溶液;

摘    要：本文用碱性氟化物溶液对单晶硅（100）表面进行了处理。结果发现其表面完全布满了类似金字塔的小凸起。在整个腐蚀过程中,小凸起随时间的延长变大,但数量却不断减少,这说明部分小凸起的成长是通过其周边小凸起的消亡实现的。在碱性氟化物溶液中,≡Si-H结构是稳定的,腐蚀主要发生在=SiH2或-SiH3的原子阶梯或缺陷存在的粗糙表面处。根据腐蚀速率和表面形貌的变化,我们对整个腐蚀过程作了进一步的阐释。