AlN压电薄膜材料研究进展
来源期刊：稀有金属材料与工程2002年第6期
论文作者：段静芳 张富强 许小红 武海顺 李佐宜
关键词：AlN压电薄膜; 结构; 制备; 应用;
摘 要：AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望.
段静芳1，张富强1，许小红2，武海顺1，李佐宜2
(1.山西师范大学,山西临汾,041004;
2.华中科技大学,湖北武汉,430074)
摘要:AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望.
关键词:AlN压电薄膜; 结构; 制备; 应用;
【全文内容正在添加中】
