PVD法制备6.5%Si高硅钢过程合金磁性能演化机理研究
来源期刊：功能材料2016年第4期
论文作者：马天国 李辉 田广科 毕晓昉
文章页码：4196 - 8403
关键词：6.5%Si高硅钢;磁控溅射;表面粗化;软磁性能;演化机理;
摘 要：PVD法制备Fe-6.5%Si（质量分数,下同）高硅钢过程基片预处理工艺以及Si渗入对合金的软磁性能均有显著影响。采用磁损耗分离的方法剖析铁硅合金磁性变化的内在机理。采用四探针方法测试合金的电阻率;采用基于热分析仪（DSC）配置永磁场技术测量热重（TG）曲线确定合金的居里温度;采用振动样品磁强计（VSM）测定了材料的饱和质量磁矩;采用直流测试装置和硅钢测试仪测试合金的直流交流软磁性能。PVD法制备6.5%Si高硅钢最大磁导率达到16 400,相比于初始态3%低硅钢基片,铁损值降低40%50%。
马天国1，李辉2，田广科1,3，毕晓昉3
1. 兰州交通大学国家绿色镀膜工程中心2. 开封大学机械与汽车工程学院3. 北京航空航天大学材料科学与工程学院
摘 要：PVD法制备Fe-6.5%Si（质量分数,下同）高硅钢过程基片预处理工艺以及Si渗入对合金的软磁性能均有显著影响。采用磁损耗分离的方法剖析铁硅合金磁性变化的内在机理。采用四探针方法测试合金的电阻率;采用基于热分析仪（DSC）配置永磁场技术测量热重（TG）曲线确定合金的居里温度;采用振动样品磁强计（VSM）测定了材料的饱和质量磁矩;采用直流测试装置和硅钢测试仪测试合金的直流交流软磁性能。PVD法制备6.5%Si高硅钢最大磁导率达到16 400,相比于初始态3%低硅钢基片,铁损值降低40%50%。
关键词：6.5%Si高硅钢;磁控溅射;表面粗化;软磁性能;演化机理;
