ZnS∶TbF3薄膜电致发光器件性能的研究
来源期刊：中国稀土学报2001年第6期
论文作者：徐叙瑢 杨胜 何大伟 王永生
关键词：稀土; 电致发光; 磁控溅射; 电子束蒸发;
摘 要：用射频磁控溅射和扫描电子束蒸发方法研究制备了ZnS∶TbF3薄膜的交流电致发光器件. 研究了制备ZnS∶TbF3薄膜电致发光器件的几种因素对电致发光器件性能的影响, 诸如, 磁控溅射过程中衬底温度, 发光层厚度, 退火等.
徐叙瑢1，杨胜1，何大伟1，王永生1
(1.北方交通大学光电子技术研究所,)
摘要:用射频磁控溅射和扫描电子束蒸发方法研究制备了ZnS∶TbF3薄膜的交流电致发光器件. 研究了制备ZnS∶TbF3薄膜电致发光器件的几种因素对电致发光器件性能的影响, 诸如, 磁控溅射过程中衬底温度, 发光层厚度, 退火等.
关键词:稀土; 电致发光; 磁控溅射; 电子束蒸发;
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