溅射氩气压对TbFeCo薄膜磁和磁光性能的影响
来源期刊：磁性材料及器件2003年第1期
论文作者：林更琪 李震 王浩敏 李佐宜
关键词：TbFeCo薄膜; 射频磁控溅射; 氩分压; 磁光特性;
摘 要：研究了射频磁控溅射的溅射氩气压的变化对TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影响,以及不同溅射氩气压下TbFeCo薄膜退火后的特性.溅射氩气压的变化通过改变表面状态影响TbFeCo薄膜矫顽力和克尔角,另外,溅射氩气压的变化会影响被溅射原子轰击薄膜的速度,从而影响TbFeCo薄膜的垂直磁各向异性、矫顽力、磁光克尔效应.
林更琪1，李震1，王浩敏1，李佐宜1
(1.华中科技大学,电子科学与技术系,湖北武汉,430074)
摘要:研究了射频磁控溅射的溅射氩气压的变化对TbFeCo薄膜的磁和磁光特性的影响,以及不同溅射氩气压下TbFeCo薄膜退火后的特性.溅射氩气压的变化通过改变表面状态影响TbFeCo薄膜矫顽力和克尔角,另外,溅射氩气压的变化会影响被溅射原子轰击薄膜的速度,从而影响TbFeCo薄膜的垂直磁各向异性、矫顽力、磁光克尔效应.
关键词:TbFeCo薄膜; 射频磁控溅射; 氩分压; 磁光特性;
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