射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱
来源期刊：材料导报2006年增刊第1期
论文作者：赵丽特 丁瑞钦 叶勤
关键词：TiO2; 薄膜; 磁控溅射; 拉曼光谱; 晶体结构; 生长方式;
摘 要：采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.
赵丽特1，丁瑞钦1，叶勤2
(1.五邑大学数理系,江门,529020;
2.暨南大学物理系,广州,510632)
摘要:采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.
关键词:TiO2; 薄膜; 磁控溅射; 拉曼光谱; 晶体结构; 生长方式;
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